半導體產業的迅猛發展,芯片制造過程中產生的廢水已成為亟待解決的環保難題。芯片生產工序復雜,從晶圓清洗、光刻、蝕刻到電鍍沉積,每一個環節都會排放含有不同污染物的廢水,這些廢水成分繁雜、毒性較強,本文將介紹一家專注工業廢水處理的環保公司——蘇州依斯倍環保裝備科技有限公司,看他家是怎么處理這類廢水的。
蘇州依斯倍環保裝備科技有限公司是一家來自荷蘭外商投資的環保企業于2011年在蘇州工業園區正式成立,致力于為工業廢水處理提供完整的循環利用及零排放解決方案,業務板塊涵蓋EPC系統交付、提標改造升級、廢水站運維托管等。依斯倍一直專注于工業廢水處理深度回用與資源化利用技術的研發,為客戶降低成本,努力構建綠色生態循環系統,以“減量化”、“資源化”和“極小化”的“3R”原則為循環系統實施的核心。依斯倍工業廢水循環利用及零排放處理系統已廣泛應用于新能源汽車、機器人制造、航天航空、表面處理電鍍、涂裝生產線、電子半導體等行業。
半導體芯片廢水的核心特點的是污染物種類多、處理難度大。光刻工序會產生含有光刻膠和有機溶劑的廢水,這類有機物難以生物降解,且具有一定毒性;蝕刻工藝排出的廢水中含有氟、氯等有害離子,腐蝕性強;電鍍和化學機械拋光環節則會產生含重金屬的廢水,這類重金屬具有累積性,會長期留存于環境中;清洗工藝產生的廢水還會含有氨氮等污染物,易導致水體富營養化。此外,這類廢水水質波動大,對處理工藝的穩定性和精準度提出了極高要求。
針對芯片廢水的特性,行業普遍采用分類收集、分質處理、深度回用的綜合策略,通過多種工藝耦合實現污染物的高效去除。預處理階段主要去除廢水中的懸浮物和雜質,避免后續設備堵塞,為深度處理奠定基礎。核心處理環節采用多種專項工藝,針對含氟廢水采用絡合沉淀與專用樹脂吸附結合的方式,徹底去除有害離子;含光刻膠等有機物的廢水則通過紫外高級氧化與膜分離工藝,破壞有機物分子結構并截留殘渣;重金屬廢水通過化學沉淀工藝,將重金屬轉化為穩定化合物分離去除。
深度處理與回用是芯片廢水處理的重要方向,既能實現環保達標,又能提高水資源利用率。通過多級膜分離與純化工藝,將處理后的廢水提純至芯片生產所需的高純水標準,重新用于生產環節,實現水資源的循環利用,同時降低企業水資源的消耗與生產成本。此外,智能管控系統的應用,能實時監測廢水處理全流程的水質指標,及時調整工藝參數,保障處理效果穩定,避免二次污染。
半導體芯片廢水處理不僅關乎生態環境安全,更關乎半導體產業的綠色高質量發展。環保標準不斷嚴格和產業技術持續升級,廢水處理工藝正朝著高效化、智能化、資源化的方向演進。
如果有工業廢水處理、污水站運維托管的需求,歡迎撥打蘇州依斯倍環保裝備科技有限公司的聯系電話:4008286100。
【責任編輯】:蘇州依斯倍環保裝備科技有限公司
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